-苏州博研微纳

MEMS加工是种怎样的技术工艺

2022/03/07

让博研小编先解释一下什么是MEMS。MEMS的全称是Microelectromechanicalsystems，这个词让老美读起来绕口而行，中文称之为微机械机电系统。 MEMS加工技术的快速发展是由于传统机电工艺制成的...

微纳加工技术概念

2022/03/07

博研微纳小编认为国防战略发展的需要和纳米精密产品高利润市场的吸引力，促进了微纳加工技术的快速发展。微加工技术的发展也促进了机械、电子、半导体、光学、传感器和测量技...

几种主流MEMS器件设计原理解析

2022/02/28

据博研微纳小编了解，常见的 MEMS器件设计产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等...

【科普】MEMS加工芯片有哪些步骤？

2022/02/28

MEMS加工芯片的工艺以成膜工序、光刻工序、蚀刻工序等常规半导体工艺流程为基础。下面博研微纳小编将介绍MEMS加工工艺的部分关键技术。 1.晶圆-SOI晶圆。 SOI是指在氧化膜上形成单...

微纳加工系统是什么

2022/02/28

微纳加工技术是指由这些元件组成的亚毫米、微米和纳米量级元件以及部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成和应用技术，涉及广泛的领域和多学科的交叉整合。其主要发展方...

微纳加工丨微纳压印中压电平台的应用

2022/02/17

在过去几十年的发展中，微纳加工技术促进了集成电路的迅速发展，实现了器件的高集成度，微纳加工技术是人类认识学习微观世界的工具，通过理解这一技术可以帮助我们更好认识微...

2022/02/10

在过去的50年里，微纳加工技术的进步极大地促进了微电子技术和光电子技术的发展。微电子技术的发展以超大型集成电路为代表，集成度每18个月翻一番，使得以90nm为最小电路尺寸的...

2021/11/18

据博研小编了解，微纳加工技术是先进制造的重要组成部分，是衡量国家高端制造业水平的标志之一，具有多学科交叉性和制造要素极端性的特点，在推动科技进步、促进产业发展、拉...

2021/11/18

博研小编要告诉大家，曝光光刻是微纳加工图形的核心工艺过程，可分为正胶工艺和负胶工艺，采用相同掩模板制作时，二者可获得互补的图形结构。另外，按照不同工作距离可分为...