-苏州博研微纳

MEMS加工主要有哪些技术工艺

2021/10/20

MEMS产业增长潜力巨大，而 MEMS加工不仅是产业持续发展的瓶颈，还是将潜力兑现成现实的关键路径。但漫长的开发周期、繁多的制造平台、研发期间的用量少带来的报价高是阻碍MEMS新...

一文全读懂激光微纳加工的未来

2021/10/20

博研小编认为激光正处在发展的黄金年代，工业激光领域增长的核心驱动力在于激光工艺对传统工艺的不断渗透和替代，由于工业市场对激光装备需求增长，又反向推动了激光工艺和技...

MEMS器件如何设计

2021/10/13

博研小编提醒大家，由于亚毫米器件的直观性不强，模型对于 MEMS器件设计来说尤为重要。一般来说，一个完整的微机电系统太过复杂，难以从整体上进行模型分析，因此，通常需要将...

表面硅MEMS加工采用什么工艺？

2021/10/11

表面硅 MEMS加工技术是在集成电路平面工艺基础上发展起来的一种MEMS工艺技术，它利用硅平面上不同材料的顺序淀积和选择腐蚀来形成各种微结构。据博研小编了解，表面硅MEMS加工技...

微纳加工的关键技术有哪些

2021/10/11

据博研小编了解，典型的微纳加工技术主要划分为：硅基微纳加工技术和非硅基微纳加工技术。 (1)硅基材料微纳加工技术目前主要的体硅工艺包括湿法SOG(玻璃上硅)工艺、干法SOG工艺...

MEMS加工的研究现状如何

2021/10/08

据博研小编的了解，自1989年制造出直径只有头发丝大小的微马达以来，MEMS加工技术就开始受到世界各国的高度重视。1993年美国ADI公司采用 MEMS加工技术成功地将微型加速度计商品化，...

MEMS器件设计需要哪些技术及方法

2021/10/08

博研小编要先提醒大家，加强对 MEMS器件设计关键技术的研究具有很大的现实意义，发现当前技术中存在的不足，提出针对性的指导建议，在保证传感器性能满足要求的同时，降低生产...

多晶硅表面微纳加工技术介绍

2021/10/08

据博研小编了解，多晶硅表面微纳加工是一种制造微机电系统（MEMS）的技术，其基础是用于制造集成电路的制造方法和工具集。从历史上看，多层多晶硅制造的主要障碍与重复薄膜沉...

MEMS加工采用什么技术

2021/09/22

要想知道 MEMS加工采用的是什么技术，那么就需要先知道MEMS是什么，博研小编先为大家科普一下。 MEMS中文叫微机电系统，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米...