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MEMS器件 - 红外靶标器件
该产品用于评测红外热像仪的分辨率性能,可根据需要加工定制图形精度、对比度、消光度等参数。
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产品介绍
案例展示
产品介绍:
参数
要求
最小线宽
2um
对比度
5%~90%
消光率
1~100%
靶面大小
<100mm*100mm
靶面基材
石英、玻璃、蓝宝石、硅
适用波段
可见光~远红外
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