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红外靶标器件

MEMS器件 - 红外靶标器件

该产品用于评测红外热像仪的分辨率性能,可根据需要加工定制图形精度、对比度、消光度等参数。
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产品介绍:

参数 要求
最小线宽 2um
对比度 5%~90%
消光率 1~100%
靶面大小 <100mm*100mm
靶面基材 石英、玻璃、蓝宝石、硅
适用波段 可见光~远红外