MEMS器件 - 热导式气体传感器器件

该器件是基于热导原理的传感器探头，是能感知环境中某种气体及其浓度的一种元器件，可检测H2、He、Ar、CO2、冷媒等气体，具有低功耗、小尺寸、检测范围广等特点，适用于制氢、储能、冷媒泄露等多个领域。