为高校/科研机构提供MEMS加工服务，包括光刻、刻蚀、镀膜、键合、电镀、切割、减薄及抛光等微纳加工服务。

博研微纳是专业的半导体材料供应商，主营硅片（晶圆）、光刻胶、光刻版（掩膜版）等核心微纳加工与半导体工艺材料。我们为MEMS研发、半导体实验室及小批量生产提供高质量、一站式的材料采购解决方案，保障您的科研与生产顺利进行。

MEMS芯片包括：微热板芯片、压力传感器芯片、气流传感器芯片、氮化硅薄膜窗格和相变射频开关。

MEMS器件包括：微流控器件、热导式气体传感器器件、红外靶标器件和被动式红外投影芯片。