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MEMS芯片
MEMS芯片 - 微热板
微热板芯片一般用于MEMS气体传感器,集成微型加热器和叉指电极,微型加热器用于为气体传感器提供合适的工作温度,叉指电极用于检测气敏材料的电阻变化。...
MEMS芯片 - 压力传感器芯片
MEMS压力传感器芯片是一种采用微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)技术制作的压力传感器芯片。它通过集成微机电机构和相关电子元器件,实现对外界气体或液体的压力进行测量...
MEMS芯片 - 气流传感器芯片
热式气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器,利用MEMS热式原理对管路气体介质进行流量监测。 气体流量传感器芯片具有功耗低、精度高等特点,在工业控制、医疗、家电、...
氮化硅薄膜窗格
定制氮化硅薄膜窗格是同步辐射X射线、软X射线、紫外或极紫外样品结构分析或透射成像实验的理想承载体。...
MEMS芯片 - 相变射频开关
该开关利用GeTe相变材料热致相变特性,实现晶态低电阻和非晶态高电阻之间的相互转换,具有低插损、高截止频率、低功耗、非易失、易集成等特点。以氧化片作为基底,NiCrSi薄膜电阻...
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