衬底,分为绘图衬底,和化工学衬底两种。绘图衬底指的是将图片或文字充满整个版面使其为底纹。化工学衬底最常见的为氮化物衬底材料等。
衬底
英寸 | 直径/mm | 抛面 | 掺杂 | 晶向 | 电阻/Ω.cm | 厚度/um |
2寸 | 50.8±0.5 |
双抛 单抛 |
P/N | 100 | 1-20 | 200-500 |
3寸 | 76 |
双抛 单抛 |
P/B | 100 | NA | 525±20 |
4寸 | 100±0.2 |
双抛 单抛 |
P/N | 100 | 0.001-10 | 200-2000 |
100±0.3 | ||||||
100±0.4 | ||||||
6寸 | 150±0.3 |
单抛 双抛 |
P/N | 100 | 1-10 | 500-650 |
8寸 | 200±0.3 |
单抛 双抛 |
P/N | 100 | 0.1-20 | 625 |
英寸 | 直径/mm | 抛面 | 厚度 | 备注 |
4寸 | 100±0.3 | 双抛 | 500±10 | BF33 |
6寸 | 150±0.3 | 双抛 | 300,500 |