公司新闻-苏州博研微纳|MEMS代工与微纳加工专家-提供半导体材料及MEMS定制化解决方案

如何提高深硅刻蚀的侧壁光滑度？

2026/02/05

深硅刻蚀是半导体制造、MEMS器件制备中的核心工艺，侧壁光滑度直接决定器件的电学性能、机械稳定性及封装兼容性，其粗糙度超标易引发漏电、应力集中等问题，严重影响产品良率。...

2026/01/29

在微纳加工领域，衬底作为器件的基底载体，其物理、化学及机械特性直接决定加工工艺兼容性、器件精度与最终性能。硅片、石英、SOI（绝缘体上硅）是三类目前应用广泛的半导体衬...

2026/01/22

在微纳加工领域，键合技术是实现器件高精度集成、小型化与高性能的核心环节，如同微观世界的精密桥梁，为电子、生物医学、光学等领域的技术突破提供关键支撑。其核心目标是在...

光刻之后：刻蚀与镀膜如何定义结构？

2026/01/14

在芯片制造的微纳加工体系中，光刻被誉为画图的核心工序，通过光与掩模的协同将电路图案转移到光刻胶上。但光刻形成的仅为临时的平面图形，要构建出具备电学功能的三维微纳结...

2026/01/07

在微纳制造领域，表面工程是决定器件性能与可靠性的核心环节，而薄膜沉积与晶圆减薄则是其中贯穿始终的两大关键工序。前者为晶圆表面赋予功能属性，后者为器件微型化与集成化...

提高深硅刻蚀良率的解决方案

2025/12/30

在微纳加工工艺体系中，深硅刻蚀作为制备MEMS器件、功率器件等核心结构的关键步骤，其良率直接决定产品量产可行性与成本控制。深硅刻蚀面临的侧壁粗糙度大、刻蚀速率不均、刻蚀...

2025/12/24

在半导体微纳加工领域，键合技术是连接不同材料层、实现器件功能集成的关键工艺，其性能直接决定了半导体器件的精度、可靠性与使用寿命。根据应用场景与功能需求，键合技术主...

微纳刻蚀工艺常见问题破解

2025/12/17

在微纳加工领域，刻蚀工艺作为关键核心技术，承担着将设计图案精准转移到基底材料的重要使命，其工艺精度与稳定性直接决定了微纳器件的性能与良率。随着微纳加工技术向更高精...

不同镀膜工艺对半导体器件的影响

2025/12/11

在半导体产业向高精度、微型化迭代的进程中，微纳加工技术是核心支撑，而镀膜加工作为微纳加工体系的关键环节，其工艺选择直接决定半导体器件的电学性能、稳定性与使用寿命。...