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微纳加工
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行业动态
2026/10/14
原子级镀膜的 ＂手艺＂ 与代工：从原理到落地
原子层沉积是微纳加工领域兼具精准与特色的镀膜技术。它把传统镀膜 厚薄难控 的粗放方式，改为 一层一层垒上去 的原子级操作，在追求小尺寸、复杂形貌的微纳器件制造中地位日益...
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2026/10/09
一文了解光刻掩膜版技术
在半导体微纳加工制造领域，光刻是实现微米至纳米级图形转移的核心工序，而光刻掩膜版便是承载电路与器件设计图形的核心母版，常被比作芯片制造的 精密底片，其精度、缺陷控制...
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2026/09/23
等离子体刻蚀：微纳加工干法刻蚀的核心技术
微纳加工技术是半导体芯片、微机电系统、光学器件等高端制造领域的核心基础，而刻蚀工艺作为图形化转移的关键环节，直接决定器件的尺寸精度、结构形貌与性能稳定性。相较于传...
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权衡与优化：刻蚀工艺中选择比、各向异性与均匀性的平衡策略
2026/08/20
刻蚀是微纳制造与半导体加工的核心工艺，其加工精度直接决定器件的良率、性能与稳定性。在刻蚀工艺调控体系中，选择比、各向异性、均匀性是三大核心质控指标，三者相互制约、...
聚焦离子束刻蚀技术在微纳加工中的应用与进展
2025/04/17
微纳加工技术是当今先进制造领域的核心技术之一，广泛应用于半导体微纳加工、MEMS（微机电系统）加工、光学器件及纳米材料制备等领域。其中，聚焦离子束（Focused Ion Beam, FIB）刻蚀...
半导体材料在哪些领域发挥着关键作用？
2025/04/10
半导体材料是现代科技产业的核心基础，广泛应用于电子、通信、能源、医疗、汽车等多个领域。随着微纳加工技术的进步和微纳代工服务的成熟，半导体材料的应用场景不断拓展，特...
MEMS微纳加工技术：原理、工艺与应用全解析
2025/04/08
微机电系统（MEMS，Micro-Electro-Mechanical Systems）微纳加工技术是一种结合半导体工艺和机械微加工的技术，用于制造微型传感器、执行器及集成化功能器件。其核心在于通过微米/纳米级加...
半导体材料发展前景怎么样
2022/07/09
博研认为从需求端来看，以汽车、工业、物联网、5G 通讯等代表的需求驱动驱动全球半导体材料产业进入第四次半导体硅含量提升周期。 2021 年全球半导体产值有望超过 5500 亿美元，达...
半导体材料产业链是怎么分的
2022/05/07
据博研了解，半导体产业链可以大致分为设备、材料、设计等上游环节、中游晶圆制造，以及下游封装测试等三个主要环节。 半导体材料 是产业链上游环节中非常重要的一环，在芯片的...
清洗光刻板需要什么样的流程与工艺
2022/05/07
博研认为 光刻板 清洗的流程以及优化，需要在实际生产运用中来完善，要保证在不影响清洗能力的情况下来优化各个工艺参数，在各种工艺清洗时的时间和光刻板的转速来缩短清洗光刻...
揭秘丨半导体的微纳加工全流程
2022/03/28
每个半导体产品的制造都需要数百个 微纳加工 工艺，博研将整个制造过程分为八个步骤：晶圆加工-氧化-光刻-刻蚀-薄膜沉积-互连-测试-封装。 第一步 晶圆加工 所有半导体工艺都始于...
6大主要的MEMS加工工艺
2022/03/24
硅微机械加工工艺是制作微传感器、微执行器 和 MEMS 的主流技术 ,是近年来随着集成电路工艺 发展起来的 ,它是离子束、电子束、分子束、激光束和 化学刻蚀等用于微电子加工的技术...
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