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微纳加工
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行业动态
2026/03/06
为什么MEMS器件偏爱SOI片？浅谈SOI在键合与掺杂中的优势
在MEMS的世界里，小巧而强大是核心追求从手机里的加速度传感器，到医疗领域的微型超声换能器，再到航天设备中的惯性导航器件，这些毫米甚至微米级的器件，对基底材料的要求近乎...
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2026/02/28
微纳加工核心揭秘：光刻工艺，方寸之间的“雕刻魔法”
很多人对光刻工艺的认知局限于“曝光显影”，实则它是集光学、化学、材料学于一体的精密过程。其核心任务，是利用曝光和显影技术在光刻胶层刻画预设图形，再通过刻蚀工艺将光...
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2026/02/10
刻蚀工艺的关键挑战：选择比、均匀性与损伤控制
刻蚀作为半导体制造中图形转移的核心工序，如同精细的微观雕刻，需将光刻定义的图案精准复刻至衬底材料，其工艺精度直接决定器件性能与良率。随着摩尔定律持续推进，器件线宽...
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聚焦离子束刻蚀技术在微纳加工中的应用与进展
2025/04/17
微纳加工技术是当今先进制造领域的核心技术之一，广泛应用于半导体微纳加工、MEMS（微机电系统）加工、光学器件及纳米材料制备等领域。其中，聚焦离子束（Focused Ion Beam, FIB）刻蚀...
半导体材料在哪些领域发挥着关键作用？
2025/04/10
半导体材料是现代科技产业的核心基础，广泛应用于电子、通信、能源、医疗、汽车等多个领域。随着微纳加工技术的进步和微纳代工服务的成熟，半导体材料的应用场景不断拓展，特...
MEMS微纳加工技术：原理、工艺与应用全解析
2025/04/08
微机电系统（MEMS，Micro-Electro-Mechanical Systems）微纳加工技术是一种结合半导体工艺和机械微加工的技术，用于制造微型传感器、执行器及集成化功能器件。其核心在于通过微米/纳米级加...
半导体材料发展前景怎么样
2022/07/09
博研认为从需求端来看，以汽车、工业、物联网、5G 通讯等代表的需求驱动驱动全球半导体材料产业进入第四次半导体硅含量提升周期。 2021 年全球半导体产值有望超过 5500 亿美元，达...
半导体材料产业链是怎么分的
2022/05/07
据博研了解，半导体产业链可以大致分为设备、材料、设计等上游环节、中游晶圆制造，以及下游封装测试等三个主要环节。 半导体材料 是产业链上游环节中非常重要的一环，在芯片的...
清洗光刻板需要什么样的流程与工艺
2022/05/07
博研认为 光刻板 清洗的流程以及优化，需要在实际生产运用中来完善，要保证在不影响清洗能力的情况下来优化各个工艺参数，在各种工艺清洗时的时间和光刻板的转速来缩短清洗光刻...
揭秘丨半导体的微纳加工全流程
2022/03/28
每个半导体产品的制造都需要数百个 微纳加工 工艺，博研将整个制造过程分为八个步骤：晶圆加工-氧化-光刻-刻蚀-薄膜沉积-互连-测试-封装。 第一步 晶圆加工 所有半导体工艺都始于...
6大主要的MEMS加工工艺
2022/03/24
硅微机械加工工艺是制作微传感器、微执行器 和 MEMS 的主流技术 ,是近年来随着集成电路工艺 发展起来的 ,它是离子束、电子束、分子束、激光束和 化学刻蚀等用于微电子加工的技术...
MEMS加工工艺中的表面牺牲层工艺研究
2022/03/22
在 MEMS加工 制备过程中，开关梁作为具有极低间隙的悬浮部件，保证其完整释放十分重要。制备了以聚酰亚胺为牺牲层的低下拉电压开关，采用反应离子刻蚀（RIE）技术对牺牲层进行刻...
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