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2026/07/17
面向多材质加工的MEMS代工RIE刻蚀工艺参数优化方案
随着MEMS器件向集成化、多功能化方向发展,多材质复合结构加工已成为代工生产的主流需求。反应离子刻蚀(RIE)作为MEMS制造的核心干法刻蚀工艺,凭借各向异性强、刻蚀精度高、工艺...
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2026/07/09
低成本高效率,湿法腐蚀在MEMS代工中的实用价值
在MEMS代工行业规模化、低成本化的发展趋势下,工艺技术的选型直接决定了代工产能、生产成本与交付效率。湿法腐蚀作为微纳加工的核心基础工艺,凭借设备简易、成本低廉、可批量...
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2026/07/01
从流片到成品,MEMS全制程代工服务深度解析
相较于传统集成电路制程,MEMS器件制造兼顾微电子工艺与精密机械结构加工,制程复杂度更高、工艺定制性更强。全制程代工服务覆盖从流片设计适配、晶圆制造、后段加工到成品测试...
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多晶硅表面微纳加工技术介绍
2021/10/08
据博研小编了解,多晶硅表面 微纳加工 是一种制造微机电系统(MEMS)的技术,其基础是用于制造集成电路的制造方法和工具集。从历史上看,多层多晶硅制造的主要障碍与重复薄膜沉...
什么是半导体材料
2021/09/22
据博研小编的了解, 半导体材料 是指电导率介于金属与绝缘体之间的材料,电导率在欧/厘米之间,一般情况下电导率随温度的升高而增大。半导体材料是制作晶体管、集成电路、电力...
详解微纳加工工艺:光刻
2021/09/22
博研小编给大家普及一下,光刻是通过一系列生产步骤,将晶圆表面薄膜的特定部分除去的 微纳加工 工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求,生成尺寸精确的特征图形,并且在晶...
第三代半导体材料产业发展介绍(史上最全)
2021/09/11
博研小编先给大家普及一下,第3代半导体是指以氮化镓、碳化硅、金刚石、氧化锌为代表的宽禁带 半导体材料 。与传统的第1代、第2代半导体材料硅和砷化镓相比,第3代半导体具有禁...
石墨烯微纳结构加工有哪些技术
2021/09/11
在讲解石墨烯结构如何采用 微纳加工 方式制造之前,博研小编先为大家普及下石墨烯的优势。 石墨烯是一种由碳原子以SP2杂化构成的新型单原子层二维材料,其拥有许多独特的光电性...
什么是微纳加工?怎么起源的?
2021/09/01
博研小编给大家稍微普及一下, 微纳加工 是制造微米级或更小的微型结构的过程。从历史上看,最早的微制造工艺用于集成电路制造,也称为 半导体制造 或半导体器件制造。 在过去的...
微纳加工主要是用来做什么的
2021/08/25
微纳加工 是指制造特征尺寸以纳米为单位的结构,尤其是侧面小于20纳米的结构。目前的技术大多只允许在二维意义上进行微纳加工。 当前微纳加工的一个主要分支是属于纳米光刻技术...
微纳加工技术对社会的影响有哪些
2021/08/17
21世纪,人们仍会不断追求条件更好且可负担的医疗保健服务、更高的生活品质和质量更好的日用消费品,并竭力应对由能源成本上涨和资源枯竭所带来的风险等巨大挑战。它们也是采用...
微纳加工技术目前有哪些特点
2021/08/11
基础科学的研究发展往往需要技术科学提供强有力的支持,要想探索在纳米尺度下物质的变化规律、新的性质和器件功能及可能的应用领域,同样离不开相应的技术手段。 微纳加工 技术...
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