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2026/07/17
面向多材质加工的MEMS代工RIE刻蚀工艺参数优化方案
随着MEMS器件向集成化、多功能化方向发展,多材质复合结构加工已成为代工生产的主流需求。反应离子刻蚀(RIE)作为MEMS制造的核心干法刻蚀工艺,凭借各向异性强、刻蚀精度高、工艺...
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2026/07/09
低成本高效率,湿法腐蚀在MEMS代工中的实用价值
在MEMS代工行业规模化、低成本化的发展趋势下,工艺技术的选型直接决定了代工产能、生产成本与交付效率。湿法腐蚀作为微纳加工的核心基础工艺,凭借设备简易、成本低廉、可批量...
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2026/07/01
从流片到成品,MEMS全制程代工服务深度解析
相较于传统集成电路制程,MEMS器件制造兼顾微电子工艺与精密机械结构加工,制程复杂度更高、工艺定制性更强。全制程代工服务覆盖从流片设计适配、晶圆制造、后段加工到成品测试...
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博研微纳为你讲讲微纳加工技术在光电子领域有哪些应用
2022/02/10
在过去的50年里, 微纳加工 技术的进步极大地促进了微电子技术和光电子技术的发展。微电子技术的发展以超大型集成电路为代表,集成度每18个月翻一番,使得以90nm为最小电路尺寸的...
微纳加工技术全解析丨看完就不用找别的资料了(上)
2021/11/18
据博研小编了解, 微纳加工 技术是先进制造的重要组成部分,是衡量国家高端制造业水平的标志之一,具有多学科交叉性和制造要素极端性的特点,在推动科技进步、促进产业发展、拉...
微纳加工技术全解析丨看完就不用找别的资料了(中)
2021/11/18
博研小编要告诉大家,曝光光刻是 微纳加工 图形的核心工艺过程,可分为正胶工艺和负胶工艺,采用相同掩模板制作时,二者可获得互补的图形结构。 另外,按照不同工作距离可分为...
当今微纳加工有哪些用武之地
2021/11/10
博研小编认为 微纳加工 对于创新应用越来越重要,许多国家和地区都非常重视其发展。例如,在欧盟框架计划的支持下,欧洲微纳加工技术平台(MINAM)于2006年9月开始启动,于2008年初...
通常所说的微纳加工技术是指什么?
2021/11/03
据博研小编了解, 微纳加工 技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术,涉及领域广、多学科交叉融合...
微纳加工的前景好不好
2021/11/03
据博研小编了解,在过去的50多年中, 微纳加工 技术的进步极大地促进了微电子技术和光电子技术的发展。 微电子技术的发展以超大规模集成电路为代表,集成度以每18个月翻一番的速...
微纳加工技术如何在光电子领域应用的
2021/10/27
据博研小编了解,在过去的50多年中, 微纳加工 技术的进步极大地促进了微电子技术和光电子技术的发展。微电子技术的发展以超大规模集成电路为代表,集成度以每18个月翻一番的速...
一文全读懂激光微纳加工的未来
2021/10/20
博研小编认为激光正处在发展的黄金年代,工业激光领域增长的核心驱动力在于激光工艺对传统工艺的不断渗透和替代,由于工业市场对激光装备需求增长,又反向推动了激光工艺和技...
微纳加工的关键技术有哪些
2021/10/11
据博研小编了解,典型的 微纳加工 技术主要划分为:硅基微纳加工技术和非硅基微纳加工技术。 (1)硅基材料微纳加工技术 目前主要的体硅工艺包括湿法SOG(玻璃上硅)工艺、干法SOG工艺...
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