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微纳加工
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行业动态
2026/10/14
原子级镀膜的 ＂手艺＂ 与代工：从原理到落地
原子层沉积是微纳加工领域兼具精准与特色的镀膜技术。它把传统镀膜 厚薄难控 的粗放方式，改为 一层一层垒上去 的原子级操作，在追求小尺寸、复杂形貌的微纳器件制造中地位日益...
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2026/10/09
一文了解光刻掩膜版技术
在半导体微纳加工制造领域，光刻是实现微米至纳米级图形转移的核心工序，而光刻掩膜版便是承载电路与器件设计图形的核心母版，常被比作芯片制造的 精密底片，其精度、缺陷控制...
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2026/09/23
等离子体刻蚀：微纳加工干法刻蚀的核心技术
微纳加工技术是半导体芯片、微机电系统、光学器件等高端制造领域的核心基础，而刻蚀工艺作为图形化转移的关键环节，直接决定器件的尺寸精度、结构形貌与性能稳定性。相较于传...
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微纳加工技术目前有哪些特点
2021/08/11
基础科学的研究发展往往需要技术科学提供强有力的支持,要想探索在纳米尺度下物质的变化规律、新的性质和器件功能及可能的应用领域，同样离不开相应的技术手段。 微纳加工 技术...
微纳加工技术有什么意义
2021/08/05
博研小编先为大家普及下相关概念。 微纳加工 技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广...
电子束光刻加工应用和参数
2021/07/16
电子束光刻加工图案中的数字线宽与处理后的实际显影特征尺寸之间几乎总是存在差异。这是由抗蚀剂中的电子散射引起的。对于良好表征的过程，数字大小和实际大小之间通常存在固...
电子束光刻加工的三个“度”
2021/07/16
电子束光刻加工的三个度是不常被提及的功绩数字，其实就是在光刻加工中遇到的：解析度、缝合度、叠加度。常常和设备有关。 解析度：电子束光刻的分辨率是可以图案化的特征的最...
光刻加工涉及的材料有哪些
2021/07/16
光刻加工中的抵抗，涉及光刻胶。抗蚀剂是悬浮在溶剂中的聚合物。根据抗蚀剂的类型，可以使用紫外线或电子束选择性地去除它。所有抗性都可以大致分为正抗性或负抗性，其中阳性...
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