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2026/08/13
刻蚀选择比不稳定的排查思路与问题解决方法
在半导体刻蚀工艺生产过程中,选择比稳定性是保障工艺精度、产品良率的核心关键指标。实际生产中,刻蚀工艺经常出现刻蚀不干净、过度刻蚀等异常现象,多数从业者会习惯性将问...
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2026/08/06
晶圆划片:芯片封装不可或缺的核心前置工艺
一块完整的圆形晶圆,经过光刻、刻蚀、薄膜沉积等一系列复杂前道制造工序后,表面会排布成千上万个功能独立的芯片单元。受晶圆圆形外形限制,边缘区域的电路图形无法完整成型...
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2026/07/30
光学光刻:芯片图形化的核心工艺全流程解析
光学光刻是集成电路制造中实现微纳图形转移的核心工序,整套工艺环环相扣,每一步的精度、稳定性都会直接影响芯片最小尺寸、图形侧壁质量与生产良率。完整工艺链包含衬底预处...
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微纳加工技术在光电子领域起到什么作用
2022/03/22
博研小编发现在过去的50多年中, 微纳加工 技术的进步极大地促进了微电子技术和光电子技术的发展。 微电子技术的发展以超大规模集成电路为代表,集成度以每18个月翻一番的速度提...
飞秒激光微纳加工技术可以应用在哪些材料加工领域
2022/03/15
博研小编认为,在当前信息时代,科技实现了快速发展,应用需求不断提高,对 微纳加工 的技术要求更高,要求加工的材料分辨率更高,加工技术可以应用于各种材料,实现真正的三维...
MEMS器件设计封装要考虑什么
2022/03/07
MEMS器件设计 包装的形式是将基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。博研通过研究发现,基于MEMS的典型产品中,设计包装成本几乎占所有材料和组装成本的20%~40%。由于生产因素的影响...
MEMS加工是种怎样的技术工艺
2022/03/07
让博研小编先解释一下什么是MEMS。MEMS的全称是Microelectromechanicalsystems,这个词让老美读起来绕口而行,中文称之为微机械机电系统。 MEMS加工 技术的快速发展是由于传统机电工艺制成的...
微纳加工技术概念
2022/03/07
博研微纳小编认为国防战略发展的需要和纳米精密产品高利润市场的吸引力,促进了 微纳加工 技术的快速发展。微加工技术的发展也促进了机械、电子、半导体、光学、传感器和测量技...
几种主流MEMS器件设计原理解析
2022/02/28
据博研微纳小编了解,常见的 MEMS器件设计 产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等...
【科普】MEMS加工芯片有哪些步骤?
2022/02/28
MEMS加工 芯片的工艺以成膜工序、光刻工序、蚀刻工序等常规半导体工艺流程为基础。 下面博研微纳小编将介绍MEMS加工工艺的部分关键技术。 1.晶圆-SOI晶圆。 SOI是指在氧化膜上形成单...
微纳加工系统是什么
2022/02/28
微纳加工技术是指由这些元件组成的亚毫米、微米和纳米量级元件以及部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成和应用技术,涉及广泛的领域和多学科的交叉整合。其主要发展方...
微纳加工丨微纳压印中压电平台的应用
2022/02/17
在过去几十年的发展中, 微纳加工 技术促进了集成电路的迅速发展,实现了器件的高集成度,微纳加工技术是人类认识学习微观世界的工具,通过理解这一技术可以帮助我们更好认识微...
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