行业新闻-苏州博研微纳|MEMS代工与微纳加工专家-提供半导体材料及MEMS定制化解决方案

MEMS加工工艺中的表面牺牲层工艺研究

2022/03/22

在 MEMS加工制备过程中，开关梁作为具有极低间隙的悬浮部件，保证其完整释放十分重要。制备了以聚酰亚胺为牺牲层的低下拉电压开关，采用反应离子刻蚀（RIE）技术对牺牲层进行刻...

微纳加工技术在光电子领域起到什么作用

2022/03/22

博研小编发现在过去的50多年中，微纳加工技术的进步极大地促进了微电子技术和光电子技术的发展。微电子技术的发展以超大规模集成电路为代表，集成度以每18个月翻一番的速度提...

2022/03/15

博研小编认为，在当前信息时代，科技实现了快速发展，应用需求不断提高，对微纳加工的技术要求更高，要求加工的材料分辨率更高，加工技术可以应用于各种材料，实现真正的三维...

MEMS器件设计封装要考虑什么

2022/03/07

MEMS器件设计包装的形式是将基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。博研通过研究发现，基于MEMS的典型产品中，设计包装成本几乎占所有材料和组装成本的20%~40%。由于生产因素的影响...

MEMS加工是种怎样的技术工艺

2022/03/07

让博研小编先解释一下什么是MEMS。MEMS的全称是Microelectromechanicalsystems，这个词让老美读起来绕口而行，中文称之为微机械机电系统。 MEMS加工技术的快速发展是由于传统机电工艺制成的...

微纳加工技术概念

2022/03/07

博研微纳小编认为国防战略发展的需要和纳米精密产品高利润市场的吸引力，促进了微纳加工技术的快速发展。微加工技术的发展也促进了机械、电子、半导体、光学、传感器和测量技...

几种主流MEMS器件设计原理解析

2022/02/28

据博研微纳小编了解，常见的 MEMS器件设计产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等...

【科普】MEMS加工芯片有哪些步骤？

2022/02/28

MEMS加工芯片的工艺以成膜工序、光刻工序、蚀刻工序等常规半导体工艺流程为基础。下面博研微纳小编将介绍MEMS加工工艺的部分关键技术。 1.晶圆-SOI晶圆。 SOI是指在氧化膜上形成单...

微纳加工系统是什么

2022/02/28

微纳加工技术是指由这些元件组成的亚毫米、微米和纳米量级元件以及部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成和应用技术，涉及广泛的领域和多学科的交叉整合。其主要发展方...