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定制氮化硅薄膜窗格

MEMS器件设计 - 定制氮化硅薄膜窗格

定制氮化硅薄膜窗格是同步辐射X射线、软X射线、紫外或极紫外样品结构分析或透射成像实验的理想承载体。苏州博研微纳可根据用户需求,提供定制化解决方案。

  • 产品介绍
  • 案例展示
定制类型:
大窗口、多窗口氮化硅膜
大窗口和多窗口氮化硅薄膜主要用于同步辐射实验中的真空窗口,其中多窗口产品主要用于区别不同的样品。
悬臂梁加热器件
应用于透射电镜实现高温条件下材料电化学出和分解过程。
开放式电化学芯片
开放式电化学芯片使用离子液体电解液,在透射电镜中,可以直接观测金丝边缘浸润在离子液体中的电极样品,并可以实现高分辨原位实时观测。
加热芯片
热学芯片是依靠氮化硅膜超高的稳定性和低热容量的特点实现稳定的热学观测。芯片使用铂为加热电极层与信号反馈层,可耐受1200℃高温。
 
典型应用:
●同步辐射X射线、软X射线、紫外或极紫外样品结构分析或透射成像实验的理想承载体
●TEM观测材料、生物样品等
●热稳定性高,可对同一样品进行退火处理前后的形貌进行准原位的研究
●无毒性,可供生物样品的培养观测
●用于EDX/EELS观测含碳样品,避免干扰