MEMS器件 - 柔性电极

采用MEMS（微机电系统）工艺制造的柔性电极是一种具有良好柔韧性和导电性的微型电子元件。其制造工艺流程涉及多个精密加工步骤，结合了传统半导体制造技术和柔性材料加工技术。

产品特点：
● 柔韧性：可弯曲、拉伸和扭曲
● 轻量化：适合便携式和可穿戴设备。
● 高导电性：导电材料选择多样，高效电传导。
● 良好的生物相容性：材料合适，应用方安全有效。

典型应用：
● 可穿戴设备
● 脑机接口
● 传感器：
● 柔性电子