MEMS器件 - PMUT

PMUT（压电式微机电超声波换能器）是一种利用 MEMS（微机电系统） 技术制造的微型超声波换能器。它基于压电效应工作：通过在压电薄膜上施加电压使其产生机械变形来发射超声波；接收超声波时，机械应力又会使它产生电荷信号，从而实现电能和声能的相互转换。