MEMS器件 - MEMS开关

MEMS（微机电系统）开关是采用微纳加工技术制造的微型机械式开关。其核心是一个微小的可动悬臂梁结构，通过静电等驱动力控制悬臂梁的机械运动，实现信号端子的导通与断开。根据应用领域，主要分为射频MEMS开关（RF MEMS Switch）和微机电继电器（MEMS Relay）两大类。