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MEMS芯片 - 微热板
微热板芯片一般用于MEMS气体传感器,集成微型加热器和叉指电极,微型加热器用于为气体传感器提供合适的工作温度,叉指电极用于检测气敏材料的电阻变化。
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产品介绍
案例展示
● 集成微型加热器和叉指电极,面积小,利于集成
● 功耗低
● 可靠性高
● 控温准
● 尺寸:1.0*1.0*0.3mm
● 加热丝材料:铂
● 热响应时间:<10ms
● 工作电压:<4V
典型应用:
● 用于气体传感器
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