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2025/06/18
刻蚀在微纳制造工艺中的作用
1、引言 微纳制造技术是当今半导体、MEMS(微机电系统)、光电子器件等领域的关键支撑技术,而刻蚀(Etching)作为微纳制造的核心工艺之一,直接影响器件的精度、性能和可靠性。光...
查看详情
2025/06/11
半导体衬底材料:现代电子技术的隐形支柱
半导体技术是现代电子工业的基石,而半导体衬底材料则是这一技术的核心基础。无论是智能手机、计算机、汽车电子,还是人工智能和5G通信,都依赖于高质量的半导体衬底。那么,半...
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2025/06/06
微纳加工的核心工艺解析
微纳加工技术是现代微电子、光电子和微机电系统(MEMS)等领域的基础制造技术,其核心工艺包括光刻、镀膜、键合、刻蚀、减薄抛光、切割打孔和掺杂等。这些工艺相互配合,共同实...
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刻蚀在微纳制造工艺中的作用
2025/06/18
1、引言 微纳制造技术是当今半导体、MEMS(微机电系统)、光电子器件等领域的关键支撑技术,而刻蚀(Etching)作为微纳制造的核心工艺之一,直接影响器件的精度、性能和可靠性。光...
半导体衬底材料:现代电子技术的隐形支柱
2025/06/11
半导体技术是现代电子工业的基石,而半导体衬底材料则是这一技术的核心基础。无论是智能手机、计算机、汽车电子,还是人工智能和5G通信,都依赖于高质量的半导体衬底。那么,半...
微纳加工的核心工艺解析
2025/06/06
微纳加工技术是现代微电子、光电子和微机电系统(MEMS)等领域的基础制造技术,其核心工艺包括光刻、镀膜、键合、刻蚀、减薄抛光、切割打孔和掺杂等。这些工艺相互配合,共同实...
半导体微纳加工技术:推动现代电子革命的基石
2025/06/04
引言 半导体微纳加工技术是当今信息技术和电子工业的核心驱动力。从智能手机到高性能计算机,从物联网设备到人工智能芯片,几乎所有现代电子产品的核心都依赖于半导体微纳加工...
光刻版:芯片制造的"隐形建筑师",如何雕刻纳米世界的蓝图?
2025/05/28
在当今信息化时代,集成电路(IC)已成为现代科技的基础,而光刻版(Photomask或Reticle)作为半导体制造中的关键元件,扮演着不可或缺的角色。光刻版是微电子制造过程中的模板,通...
MEMS加工中的电子束光刻:高精度微纳加工的核心工艺
2025/05/22
电子束光刻在MEMS加工中的关键作用 在现代微纳加工领域,电子束光刻(Electron Beam Lithography, EBL)作为一项高端技术,已成为MEMS加工中不可或缺的核心工艺。与传统的紫外光刻相比,电子束...
氮化硅薄膜窗格在MEMS芯片中的关键作用与先进加工技术
2025/05/14
引言 随着微机电系统(MEMS)技术的快速发展,氮化硅(Si₃N₄)薄膜窗格因其优异的机械强度、化学稳定性和光学性能,在MEMS芯片中扮演着至关重要的角色。本文将探讨氮化硅薄膜窗...
光刻掩膜板:微纳加工的核心,国产替代的关键突破
2025/05/26
引言:光刻掩膜板的技术地位与市场价值 在半导体制造和微纳加工领域,光刻掩膜板(Photomask)被誉为芯片制造的蓝图,其精度直接决定了7nm、5nm等先进制程芯片的性能。随着中国半导...
磁控溅射镀膜:MEMS加工中的高精度薄膜制备利器
2025/05/09
引言 微机电系统(MEMS)加工技术在现代传感器、执行器、射频器件等领域发挥着关键作用。其中,薄膜沉积工艺是MEMS制造的核心环节之一,而磁控溅射镀膜因其高沉积速率、优异薄膜...
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