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新闻中心
2025/11/13
浅谈微纳加工中的阳极键合工艺
在微纳加工技术体系中,器件的结构封装与异质材料集成是决定产品性能的核心环节,而阳极键合工艺作为微纳加工布局中的关键连接技术,凭借其高精度、高可靠性的优势,已成为微...
2025/11/06
MEMS 加工中的深硅刻蚀技术:原理、应用及发展趋势详解
在MEMS加工领域,深硅刻蚀技术是实现高精度三维微结构制造的核心工艺之一,其性能直接决定了 MEMS 器件的功能、可靠性与量产能力。随着 MEMS 器件向微型化、高集成度、复杂结构方向...
2025/10/30
微纳加工如何成为半导体器件创新的核心引擎
一、引言:半导体器件的 微观建造术​ 从手机芯片到物联网传感器,半导体器件的 更小、更强、更节能,全依赖微纳加工技术 这门在微米至纳米尺度精准塑造材料的工艺,是半导体行...
石墨烯微纳结构加工有哪些技术
2021/09/11
在讲解石墨烯结构如何采用 微纳加工 方式制造之前,博研小编先为大家普及下石墨烯的优势。 石墨烯是一种由碳原子以SP2杂化构成的新型单原子层二维材料,其拥有许多独特的光电性...
什么是微纳加工?怎么起源的?
2021/09/01
博研小编给大家稍微普及一下, 微纳加工 是制造微米级或更小的微型结构的过程。从历史上看,最早的微制造工艺用于集成电路制造,也称为 半导体制造 或半导体器件制造。 在过去的...
mems微纳加工的主要流程有哪些?
2021/09/01
据博研小编了解, mems微纳加工 实际上是在制造微型设备中使用的一系列技术。其中一些是非常古老的起源,与光刻或蚀刻之类的制造无关。抛光是从光学制造业借来的,许多真空技术...
MEMS加工通常采用哪些技术?
2021/09/01
据博研小编的了解, MEMS加工 用到的技术有: 图案化 通常期望将膜图案化为不同的特征或在一些层中形成开口(或通孔)。这些特征在微米或纳米级,而构图技术正是定义MEMS加工的要...
MEMS加工精度是多少?
2021/08/25
据博研小编的了解, MEMS加工 工艺流程主体为设计制造封装测试,制造是指前道微细加工,主要包括对半导体芯片进行曝光、刻蚀、掺杂、薄膜生长等工艺加工流程,是最为关键的环节...
典型的mems微纳加工流程与步骤介绍
2021/08/25
博研小编要提醒大家, mems微纳加工 工艺是指所有工艺都是在圆片表面进行的MEMS制造工艺。表面微加工中,采用低压化学气相淀积这一类方法来获得作为结构单元的薄膜。表面微加工工...
微纳加工主要是用来做什么的
2021/08/25
微纳加工 是指制造特征尺寸以纳米为单位的结构,尤其是侧面小于20纳米的结构。目前的技术大多只允许在二维意义上进行微纳加工。 当前微纳加工的一个主要分支是属于纳米光刻技术...
MEMS加工工艺的起源及流程是什么
2021/08/17
博研小编要先告诉大家, MEMS加工 是制造微米级或更小的微型结构的过程。从历史上看,最早的MEMS加工工艺用于集成电路制造,也称为 半导体制造 或半导体器件制造。 各种设备的小型...
mems微纳加工在经济上有什么影响
2021/08/17
博研小编认为获得或保持领先竞争对手的优势将维持强劲的经济、提供动力以满足社会需求,而 mems微纳加工 技术能力正在成为这其中的关键使能因素。 1.mems微纳加工在各工业部门中的...
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