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微纳加工
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新闻中心
2026/02/05
如何提高深硅刻蚀的侧壁光滑度？
深硅刻蚀是半导体制造、MEMS器件制备中的核心工艺，侧壁光滑度直接决定器件的电学性能、机械稳定性及封装兼容性，其粗糙度超标易引发漏电、应力集中等问题，严重影响产品良率。...
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2026/01/29
硅片、石英、SOI…不同半导体衬底如何影响您的微纳加工结果？
在微纳加工领域，衬底作为器件的基底载体，其物理、化学及机械特性直接决定加工工艺兼容性、器件精度与最终性能。硅片、石英、SOI（绝缘体上硅）是三类目前应用广泛的半导体衬...
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2026/01/22
如何实现无缝连接？浅谈微纳加工中的键合技术与选择策略
在微纳加工领域，键合技术是实现器件高精度集成、小型化与高性能的核心环节，如同微观世界的精密桥梁，为电子、生物医学、光学等领域的技术突破提供关键支撑。其核心目标是在...
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微纳加工技术概念
2022/03/07
博研微纳小编认为国防战略发展的需要和纳米精密产品高利润市场的吸引力，促进了 微纳加工 技术的快速发展。微加工技术的发展也促进了机械、电子、半导体、光学、传感器和测量技...
几种主流MEMS器件设计原理解析
2022/02/28
据博研微纳小编了解，常见的 MEMS器件设计 产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等...
【科普】MEMS加工芯片有哪些步骤？
2022/02/28
MEMS加工 芯片的工艺以成膜工序、光刻工序、蚀刻工序等常规半导体工艺流程为基础。 下面博研微纳小编将介绍MEMS加工工艺的部分关键技术。 1.晶圆-SOI晶圆。 SOI是指在氧化膜上形成单...
微纳加工系统是什么
2022/02/28
微纳加工技术是指由这些元件组成的亚毫米、微米和纳米量级元件以及部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成和应用技术，涉及广泛的领域和多学科的交叉整合。其主要发展方...
MEMS器件设计工艺如何进一步优化
2022/02/17
博研小编认为在通过设备改进提高晶圆相关性能的同时，晶圆厂还必须优化其工艺流程，以提高可靠性、产量和产量。新流程的开发可能需要多个构建和测试周期，因此时间和金钱成本...
MEMS加工升级面临哪些问题
2022/02/17
长期以来，计算机、手机和一些汽车应用程序一直是推动半导体设备增长的动力。这些传统市场的发展也加速了人工智能（人工智能）、虚拟现实（虚拟现实）、增强现实（AR）、机器人...
微纳加工丨微纳压印中压电平台的应用
2022/02/17
在过去几十年的发展中， 微纳加工 技术促进了集成电路的迅速发展，实现了器件的高集成度，微纳加工技术是人类认识学习微观世界的工具，通过理解这一技术可以帮助我们更好认识微...
博研教大家怎么进行MEMS器件设计
2022/02/10
目前，MEMS是一种常见的设备，许多工厂专注于MEMS的生产。通常，高质量MEMS产品的生产往往与优秀的 MEMS器件设计 密不可分。 鉴于MEMS工艺来自光刻微电子工艺，人们自然会考虑使用IC设...
关于表面硅MEMS加工技术的简单介绍
2022/02/10
表面硅 MEMS加工 技术是在集成电路平面技术的基础上开发的一种MEMS技术，利用硅平面上不同材料的顺序积累和选择腐蚀形成各种微结构。博研微纳小编总结了一些关于此技术的疑问，并...
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