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2025/07/10
晶圆镀膜:半导体微纳加工的关键技术
在半导体制造和微纳加工领域,晶圆镀膜是一项至关重要的工艺。它通过在晶圆表面沉积一层或多层薄膜,赋予晶圆特定的电学、光学或机械性能,从而满足集成电路(IC)、MEMS(微机...
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2025/07/04
微纳代工技术:重塑集成电路制造的未来
集成电路(IC)制造是信息时代的基石,而微纳代工技术的崛起正在深刻改变这一行业。随着半导体工艺节点不断向更小的纳米级(如7nm、5nm、3nm)推进,传统的IDM模式逐渐向Fabless(无...
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2025/07/01
晶圆尺寸的演变与半导体制造的革命
在半导体工业的发展历程中,晶圆尺寸的演变是一条贯穿始终的重要线索。从早期的4英寸(约100mm)到如今主流的12英寸(约300mm),晶圆尺寸的每一次演变都代表着半导体制造技术的重大突破...
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微纳加工的关键技术有哪些
2021/10/11
据博研小编了解,典型的 微纳加工 技术主要划分为:硅基微纳加工技术和非硅基微纳加工技术。 (1)硅基材料微纳加工技术 目前主要的体硅工艺包括湿法SOG(玻璃上硅)工艺、干法SOG工艺...
MEMS加工的研究现状如何
2021/10/08
据博研小编的了解,自1989年制造出直径只有头发丝大小的微马达以来,MEMS加工技术就开始受到世界各国的高度重视。1993年美国ADI公司采用 MEMS加工 技术成功地将微型加速度计商品化,...
MEMS器件设计需要哪些技术及方法
2021/10/08
博研小编要先提醒大家,加强对 MEMS器件设计 关键技术的研究具有很大的现实意义,发现当前技术中存在的不足,提出针对性的指导建议,在保证传感器性能满足要求的同时,降低生产...
多晶硅表面微纳加工技术介绍
2021/10/08
据博研小编了解,多晶硅表面 微纳加工 是一种制造微机电系统(MEMS)的技术,其基础是用于制造集成电路的制造方法和工具集。从历史上看,多层多晶硅制造的主要障碍与重复薄膜沉...
MEMS加工采用什么技术
2021/09/22
要想知道 MEMS加工 采用的是什么技术,那么就需要先知道MEMS是什么,博研小编先为大家科普一下。 MEMS中文叫微机电系统,也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米...
什么是半导体材料
2021/09/22
据博研小编的了解, 半导体材料 是指电导率介于金属与绝缘体之间的材料,电导率在欧/厘米之间,一般情况下电导率随温度的升高而增大。半导体材料是制作晶体管、集成电路、电力...
详解微纳加工工艺:光刻
2021/09/22
博研小编给大家普及一下,光刻是通过一系列生产步骤,将晶圆表面薄膜的特定部分除去的 微纳加工 工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求,生成尺寸精确的特征图形,并且在晶...
表面硅MEMS加工技术是什么
2021/09/11
博研小编给大家普及一下,表面硅 MEMS加工 技术是在集成电路平面工艺基础上发展起来的一种MEMS工艺技术。它利用硅平面上不同材料的顺序淀积和选择腐蚀来形成各种微结构。 表面硅...
第三代半导体材料产业发展介绍(史上最全)
2021/09/11
博研小编先给大家普及一下,第3代半导体是指以氮化镓、碳化硅、金刚石、氧化锌为代表的宽禁带 半导体材料 。与传统的第1代、第2代半导体材料硅和砷化镓相比,第3代半导体具有禁...
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