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2025/11/13
浅谈微纳加工中的阳极键合工艺
在微纳加工技术体系中,器件的结构封装与异质材料集成是决定产品性能的核心环节,而阳极键合工艺作为微纳加工布局中的关键连接技术,凭借其高精度、高可靠性的优势,已成为微...
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2025/11/06
MEMS 加工中的深硅刻蚀技术:原理、应用及发展趋势详解
在MEMS加工领域,深硅刻蚀技术是实现高精度三维微结构制造的核心工艺之一,其性能直接决定了 MEMS 器件的功能、可靠性与量产能力。随着 MEMS 器件向微型化、高集成度、复杂结构方向...
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2025/10/30
微纳加工如何成为半导体器件创新的核心引擎
一、引言:半导体器件的 微观建造术 从手机芯片到物联网传感器,半导体器件的 更小、更强、更节能,全依赖微纳加工技术 这门在微米至纳米尺度精准塑造材料的工艺,是半导体行...
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微纳加工技术全解析丨看完就不用找别的资料了(上)
2021/11/18
据博研小编了解, 微纳加工 技术是先进制造的重要组成部分,是衡量国家高端制造业水平的标志之一,具有多学科交叉性和制造要素极端性的特点,在推动科技进步、促进产业发展、拉...
微纳加工技术全解析丨看完就不用找别的资料了(中)
2021/11/18
博研小编要告诉大家,曝光光刻是 微纳加工 图形的核心工艺过程,可分为正胶工艺和负胶工艺,采用相同掩模板制作时,二者可获得互补的图形结构。 另外,按照不同工作距离可分为...
MEMS加工工艺具备哪些特点
2021/11/18
博研小编教给大家一个简单的理解, MEMS 就是将传统传感器的机械部件微型化后,通过三维堆叠技术,例如三维硅穿孔 TSV 等技术把器件固定在硅晶元(wafer)上,最后根据不同的应用场...
MEMS器件该如何设计及测试
2021/11/10
MEMS的快速发展基于相关技术的相对成熟,但是MEMS对于大部分人来说还是比较陌生的。对此,以下博研小编将详细为大家讲述MEMS器件,带你全方位的了解 MEMS器件设计 技术。 MEMS器件和系...
mems加工技术之间有哪些区别
2021/11/10
博研小编认为小型化是MEMS产品的突出特点,随着微系统技术的发展,一些MEMS器件的尺寸已进入亚微米级。这些微小尺寸的器件已非传统加工工艺所能完成。从而发展出一系列对这些器件...
当今微纳加工有哪些用武之地
2021/11/10
博研小编认为 微纳加工 对于创新应用越来越重要,许多国家和地区都非常重视其发展。例如,在欧盟框架计划的支持下,欧洲微纳加工技术平台(MINAM)于2006年9月开始启动,于2008年初...
通常所说的微纳加工技术是指什么?
2021/11/03
据博研小编了解, 微纳加工 技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术,涉及领域广、多学科交叉融合...
微纳加工的前景好不好
2021/11/03
据博研小编了解,在过去的50多年中, 微纳加工 技术的进步极大地促进了微电子技术和光电子技术的发展。 微电子技术的发展以超大规模集成电路为代表,集成度以每18个月翻一番的速...
MEMS加工技术一文全了解
2021/11/03
据博研小编了解,目前 MEMS加工 的技术主要是三种: ①、传统机械加工方法 此加工方法可以分为两大类:超精密机械加工及特种微细加工。超精密机械加工以金属为加工对象,用硬度高...
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