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2026/08/20
权衡与优化:刻蚀工艺中选择比、各向异性与均匀性的平衡策略
刻蚀是微纳制造与半导体加工的核心工艺,其加工精度直接决定器件的良率、性能与稳定性。在刻蚀工艺调控体系中,选择比、各向异性、均匀性是三大核心质控指标,三者相互制约、...
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2026/08/20
权衡与优化:刻蚀工艺中选择比、各向异性与均匀性的平衡策略
刻蚀是微纳制造与半导体加工的核心工艺,其加工精度直接决定器件的良率、性能与稳定性。在刻蚀工艺调控体系中,选择比、各向异性、均匀性是三大核心质控指标,三者相互制约、...
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2026/08/13
刻蚀选择比不稳定的排查思路与问题解决方法
在半导体刻蚀工艺生产过程中,选择比稳定性是保障工艺精度、产品良率的核心关键指标。实际生产中,刻蚀工艺经常出现刻蚀不干净、过度刻蚀等异常现象,多数从业者会习惯性将问...
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关于表面硅MEMS加工技术的简单介绍
2022/02/10
表面硅 MEMS加工 技术是在集成电路平面技术的基础上开发的一种MEMS技术,利用硅平面上不同材料的顺序积累和选择腐蚀形成各种微结构。博研微纳小编总结了一些关于此技术的疑问,并...
博研微纳为你讲讲微纳加工技术在光电子领域有哪些应用
2022/02/10
在过去的50年里, 微纳加工 技术的进步极大地促进了微电子技术和光电子技术的发展。微电子技术的发展以超大型集成电路为代表,集成度每18个月翻一番,使得以90nm为最小电路尺寸的...
光刻板怎么样
2022/01/20
博研微纳小编来为大家介绍一下 光刻板 到底怎么样。 1.光刻板由什么组成 光刻板主要分两个组成部分,即基板和不透光材料,不同光刻板的不透光材料有所不同。基板通常是高纯度,...
半导体材料跟新能源能碰撞出火花吗
2022/01/20
据博研微纳小编了解,发展至今, 半导体材料 已历经多次迭代。 第一代半导体材料主要是硅和锗。20世纪60年代以后,硅基半导体逐渐成为主流,至今仍是应用最广泛的半导体材料。世...
如何进行MEMS器件设计
2022/01/20
博研微纳小编认为通常高质量MEMS产品的产生,往往离不开优秀的 MEMS器件设计 。 鉴于MEMS技术来自光刻微电子技术,人们自然会考虑使用IC设计工具来创建MEMS设备的掩护。然而,IC设计与...
我国的光刻板水平怎么样
2022/01/11
据博研小编的统计,随着中国半导体产业在世界上所占比例的逐步提高,中国半导体 光刻板 市场的规模也在逐步扩大。5G、人工智能、物联网等新技术的快速发展也为中国半导体市场带...
大盘点丨半导体材料有哪些元素
2022/01/11
博研微纳小编稍微普及一下, 半导体材料 是指在室温下导电性能介于导体和绝缘体之间的材料。半导体广泛应用于收音机、电视机和温度测量。例如,二极管是由半导体制成的设备。半...
如何生产出一个合格的光刻板
2022/01/06
生产制造 光刻板 的核心工序包括光刻、清洗、显影、蚀刻、检查、修补、贴膜等环节,其技术水平主要体现在:图形设计处理、光刻工序工艺、显影蚀刻工序工艺、测量和检查分析技术...
氮化镓是一种什么半导体材料?
2022/01/06
据博研小编了解,氮化镓(GaN) 材料是1928 年由Jonason 等人合成的一种Ⅲ-Ⅴ族化合物 半导体材料 。 氮化镓是氮和镓的化合物,此化合物结构类似纤锌矿,硬度很高。作为时下新兴的半...
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