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2026/03/06
为什么MEMS器件偏爱SOI片?浅谈SOI在键合与掺杂中的优势
在MEMS的世界里,小巧而强大是核心追求从手机里的加速度传感器,到医疗领域的微型超声换能器,再到航天设备中的惯性导航器件,这些毫米甚至微米级的器件,对基底材料的要求近乎...
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2026/02/28
微纳加工核心揭秘:光刻工艺,方寸之间的“雕刻魔法”
很多人对光刻工艺的认知局限于“曝光显影”,实则它是集光学、化学、材料学于一体的精密过程。其核心任务,是利用曝光和显影技术在光刻胶层刻画预设图形,再通过刻蚀工艺将光...
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2026/02/10
刻蚀工艺的关键挑战:选择比、均匀性与损伤控制
刻蚀作为半导体制造中图形转移的核心工序,如同精细的微观雕刻,需将光刻定义的图案精准复刻至衬底材料,其工艺精度直接决定器件性能与良率。随着摩尔定律持续推进,器件线宽...
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多晶硅表面微纳加工技术介绍
2021/10/08
据博研小编了解,多晶硅表面 微纳加工 是一种制造微机电系统(MEMS)的技术,其基础是用于制造集成电路的制造方法和工具集。从历史上看,多层多晶硅制造的主要障碍与重复薄膜沉...
MEMS加工采用什么技术
2021/09/22
要想知道 MEMS加工 采用的是什么技术,那么就需要先知道MEMS是什么,博研小编先为大家科普一下。 MEMS中文叫微机电系统,也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米...
什么是半导体材料
2021/09/22
据博研小编的了解, 半导体材料 是指电导率介于金属与绝缘体之间的材料,电导率在欧/厘米之间,一般情况下电导率随温度的升高而增大。半导体材料是制作晶体管、集成电路、电力...
详解微纳加工工艺:光刻
2021/09/22
博研小编给大家普及一下,光刻是通过一系列生产步骤,将晶圆表面薄膜的特定部分除去的 微纳加工 工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求,生成尺寸精确的特征图形,并且在晶...
表面硅MEMS加工技术是什么
2021/09/11
博研小编给大家普及一下,表面硅 MEMS加工 技术是在集成电路平面工艺基础上发展起来的一种MEMS工艺技术。它利用硅平面上不同材料的顺序淀积和选择腐蚀来形成各种微结构。 表面硅...
第三代半导体材料产业发展介绍(史上最全)
2021/09/11
博研小编先给大家普及一下,第3代半导体是指以氮化镓、碳化硅、金刚石、氧化锌为代表的宽禁带 半导体材料 。与传统的第1代、第2代半导体材料硅和砷化镓相比,第3代半导体具有禁...
石墨烯微纳结构加工有哪些技术
2021/09/11
在讲解石墨烯结构如何采用 微纳加工 方式制造之前,博研小编先为大家普及下石墨烯的优势。 石墨烯是一种由碳原子以SP2杂化构成的新型单原子层二维材料,其拥有许多独特的光电性...
什么是微纳加工?怎么起源的?
2021/09/01
博研小编给大家稍微普及一下, 微纳加工 是制造微米级或更小的微型结构的过程。从历史上看,最早的微制造工艺用于集成电路制造,也称为 半导体制造 或半导体器件制造。 在过去的...
mems微纳加工的主要流程有哪些?
2021/09/01
据博研小编了解, mems微纳加工 实际上是在制造微型设备中使用的一系列技术。其中一些是非常古老的起源,与光刻或蚀刻之类的制造无关。抛光是从光学制造业借来的,许多真空技术...
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