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2025/11/13
浅谈微纳加工中的阳极键合工艺
在微纳加工技术体系中,器件的结构封装与异质材料集成是决定产品性能的核心环节,而阳极键合工艺作为微纳加工布局中的关键连接技术,凭借其高精度、高可靠性的优势,已成为微...
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2025/11/06
MEMS 加工中的深硅刻蚀技术:原理、应用及发展趋势详解
在MEMS加工领域,深硅刻蚀技术是实现高精度三维微结构制造的核心工艺之一,其性能直接决定了 MEMS 器件的功能、可靠性与量产能力。随着 MEMS 器件向微型化、高集成度、复杂结构方向...
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2025/10/30
微纳加工如何成为半导体器件创新的核心引擎
一、引言:半导体器件的 微观建造术 从手机芯片到物联网传感器,半导体器件的 更小、更强、更节能,全依赖微纳加工技术 这门在微米至纳米尺度精准塑造材料的工艺,是半导体行...
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半导体镀膜的主流方式及技术特点解析
2025/09/11
在半导体器件的制造流程中,镀膜技术是核心工艺之一,它通过在晶圆表面形成均匀、致密的薄膜,实现绝缘、导电、防护等关键功能,直接影响器件的性能与可靠性。目前行业内主流...
MEMS器件的基石:微纳加工技术详解与未来挑战
2025/09/03
在当今科技飞速发展的时代,我们手中的智能手机、驾驶的汽车、接受的医疗诊断,乃至翱翔太空的航天器,其核心都隐藏着一类微小而强大的器件微机电系统(MEMS)。它们尺寸仅在微...
MEMS加工技术详解:从晶圆到芯片的制造全过程
2025/08/28
在当今这个智能化的时代,微机电系统(MEMS)技术无处不在。它让我们的手机能够自动旋转屏幕,让汽车安全气囊在碰撞瞬间及时弹出,让投影仪将清晰画面投射到幕布上。这些功能的...
RIE反应离子刻蚀:微纳加工中的关键刻蚀技术
2025/08/21
在微纳加工领域,RIE(反应离子刻蚀)是一种重要的刻蚀技术,它结合了物理刻蚀和化学刻蚀的特点,在精密制造中发挥着关键作用。 从原理上来说,RIE 是在低压等离子体环境中进行...
掩膜版技术在MEMS加工制造中的关键作用及发展趋势
2025/08/14
随着微机电系统(MEMS)技术的快速发展,掩膜版作为微纳加工过程中的关键工具,其重要性日益凸显。MEMS技术通过将机械元件、传感器、执行器以及电子元件集成在硅基或其他材料上,...
离子注入:半导体制造的精密“画笔”
2025/08/06
在半导体制造过程中,离子注入技术扮演着至关重要的角色。它如同一位精密的画家,在硅片上精准地描绘出不同的掺杂区域,从而赋予半导体材料特定的电学特性。从微处理器到存储...
SOI刻蚀技术:半导体微纳加工的关键突破
2025/07/30
在半导体制造领域,硅基微纳加工技术一直是推动集成电路(IC)和微机电系统(MEMS)发展的核心驱动力。其中,绝缘体上硅(Silicon-on-Insulator, SOI)技术因其优异的电学性能和低功耗特...
面向微纳加工的混合键合技术:现状与挑战
2025/07/23
随着半导体器件特征尺寸不断缩小和功能需求日益复杂,传统的封装技术已难以满足高性能、高密度集成的需求。混合键合技术作为一种新兴的微纳集成方法,通过同时实现金属-金属和...
光刻掩膜版的应用及重要性
2025/07/15
在半导体制造领域,光刻技术是决定芯片性能的关键工艺之一。而光刻掩膜版(Photomask)作为光刻技术的核心工具,被誉为半导体制造的隐形画笔。它承载着芯片设计的图形信息,通过...
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