公司新闻-苏州博研微纳|MEMS代工与微纳加工专家-提供半导体材料及MEMS定制化解决方案

表面硅MEMS加工技术是什么

2021/09/11

博研小编给大家普及一下，表面硅 MEMS加工技术是在集成电路平面工艺基础上发展起来的一种MEMS工艺技术。它利用硅平面上不同材料的顺序淀积和选择腐蚀来形成各种微结构。表面硅...

2021/09/11

博研小编先给大家普及一下，第3代半导体是指以氮化镓、碳化硅、金刚石、氧化锌为代表的宽禁带半导体材料。与传统的第1代、第2代半导体材料硅和砷化镓相比，第3代半导体具有禁...

石墨烯微纳结构加工有哪些技术

2021/09/11

在讲解石墨烯结构如何采用微纳加工方式制造之前，博研小编先为大家普及下石墨烯的优势。石墨烯是一种由碳原子以SP2杂化构成的新型单原子层二维材料，其拥有许多独特的光电性...

什么是微纳加工？怎么起源的？

2021/09/01

博研小编给大家稍微普及一下，微纳加工是制造微米级或更小的微型结构的过程。从历史上看，最早的微制造工艺用于集成电路制造，也称为半导体制造或半导体器件制造。在过去的...

mems微纳加工的主要流程有哪些？

2021/09/01

据博研小编了解， mems微纳加工实际上是在制造微型设备中使用的一系列技术。其中一些是非常古老的起源，与光刻或蚀刻之类的制造无关。抛光是从光学制造业借来的，许多真空技术...

MEMS加工通常采用哪些技术？

2021/09/01

据博研小编的了解， MEMS加工用到的技术有：图案化通常期望将膜图案化为不同的特征或在一些层中形成开口（或通孔）。这些特征在微米或纳米级，而构图技术正是定义MEMS加工的要...

MEMS加工精度是多少？

2021/08/25

据博研小编的了解， MEMS加工工艺流程主体为设计制造封装测试，制造是指前道微细加工，主要包括对半导体芯片进行曝光、刻蚀、掺杂、薄膜生长等工艺加工流程，是最为关键的环节...

典型的mems微纳加工流程与步骤介绍

2021/08/25

博研小编要提醒大家， mems微纳加工工艺是指所有工艺都是在圆片表面进行的MEMS制造工艺。表面微加工中，采用低压化学气相淀积这一类方法来获得作为结构单元的薄膜。表面微加工工...

微纳加工主要是用来做什么的

2021/08/25

微纳加工是指制造特征尺寸以纳米为单位的结构，尤其是侧面小于20纳米的结构。目前的技术大多只允许在二维意义上进行微纳加工。当前微纳加工的一个主要分支是属于纳米光刻技术...