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2026/08/20
权衡与优化:刻蚀工艺中选择比、各向异性与均匀性的平衡策略
刻蚀是微纳制造与半导体加工的核心工艺,其加工精度直接决定器件的良率、性能与稳定性。在刻蚀工艺调控体系中,选择比、各向异性、均匀性是三大核心质控指标,三者相互制约、...
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2026/08/20
权衡与优化:刻蚀工艺中选择比、各向异性与均匀性的平衡策略
刻蚀是微纳制造与半导体加工的核心工艺,其加工精度直接决定器件的良率、性能与稳定性。在刻蚀工艺调控体系中,选择比、各向异性、均匀性是三大核心质控指标,三者相互制约、...
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2026/08/13
刻蚀选择比不稳定的排查思路与问题解决方法
在半导体刻蚀工艺生产过程中,选择比稳定性是保障工艺精度、产品良率的核心关键指标。实际生产中,刻蚀工艺经常出现刻蚀不干净、过度刻蚀等异常现象,多数从业者会习惯性将问...
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什么是半导体材料
2021/09/22
据博研小编的了解, 半导体材料 是指电导率介于金属与绝缘体之间的材料,电导率在欧/厘米之间,一般情况下电导率随温度的升高而增大。半导体材料是制作晶体管、集成电路、电力...
详解微纳加工工艺:光刻
2021/09/22
博研小编给大家普及一下,光刻是通过一系列生产步骤,将晶圆表面薄膜的特定部分除去的 微纳加工 工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求,生成尺寸精确的特征图形,并且在晶...
表面硅MEMS加工技术是什么
2021/09/11
博研小编给大家普及一下,表面硅 MEMS加工 技术是在集成电路平面工艺基础上发展起来的一种MEMS工艺技术。它利用硅平面上不同材料的顺序淀积和选择腐蚀来形成各种微结构。 表面硅...
第三代半导体材料产业发展介绍(史上最全)
2021/09/11
博研小编先给大家普及一下,第3代半导体是指以氮化镓、碳化硅、金刚石、氧化锌为代表的宽禁带 半导体材料 。与传统的第1代、第2代半导体材料硅和砷化镓相比,第3代半导体具有禁...
石墨烯微纳结构加工有哪些技术
2021/09/11
在讲解石墨烯结构如何采用 微纳加工 方式制造之前,博研小编先为大家普及下石墨烯的优势。 石墨烯是一种由碳原子以SP2杂化构成的新型单原子层二维材料,其拥有许多独特的光电性...
什么是微纳加工?怎么起源的?
2021/09/01
博研小编给大家稍微普及一下, 微纳加工 是制造微米级或更小的微型结构的过程。从历史上看,最早的微制造工艺用于集成电路制造,也称为 半导体制造 或半导体器件制造。 在过去的...
mems微纳加工的主要流程有哪些?
2021/09/01
据博研小编了解, mems微纳加工 实际上是在制造微型设备中使用的一系列技术。其中一些是非常古老的起源,与光刻或蚀刻之类的制造无关。抛光是从光学制造业借来的,许多真空技术...
MEMS加工通常采用哪些技术?
2021/09/01
据博研小编的了解, MEMS加工 用到的技术有: 图案化 通常期望将膜图案化为不同的特征或在一些层中形成开口(或通孔)。这些特征在微米或纳米级,而构图技术正是定义MEMS加工的要...
MEMS加工精度是多少?
2021/08/25
据博研小编的了解, MEMS加工 工艺流程主体为设计制造封装测试,制造是指前道微细加工,主要包括对半导体芯片进行曝光、刻蚀、掺杂、薄膜生长等工艺加工流程,是最为关键的环节...
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