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微纳加工
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2026/03/06
为什么MEMS器件偏爱SOI片？浅谈SOI在键合与掺杂中的优势
在MEMS的世界里，小巧而强大是核心追求从手机里的加速度传感器，到医疗领域的微型超声换能器，再到航天设备中的惯性导航器件，这些毫米甚至微米级的器件，对基底材料的要求近乎...
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2026/02/28
微纳加工核心揭秘：光刻工艺，方寸之间的“雕刻魔法”
很多人对光刻工艺的认知局限于“曝光显影”，实则它是集光学、化学、材料学于一体的精密过程。其核心任务，是利用曝光和显影技术在光刻胶层刻画预设图形，再通过刻蚀工艺将光...
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2026/02/10
刻蚀工艺的关键挑战：选择比、均匀性与损伤控制
刻蚀作为半导体制造中图形转移的核心工序，如同精细的微观雕刻，需将光刻定义的图案精准复刻至衬底材料，其工艺精度直接决定器件性能与良率。随着摩尔定律持续推进，器件线宽...
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全球MEMS加工技术有哪几种
2021/08/11
据博研小编了解，目前世界上 MEMS加工 技术主要分为三种，分别以美国为代表的硅基MEMS技术、日本以精密加工为特征的MEMS技术和德国的LIGA技术。 第一种是以美国为代表的硅基MEMS加工技...
微纳加工技术有什么意义
2021/08/05
博研小编先为大家普及下相关概念。 微纳加工 技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术，涉及领域广...
主要的MEMS加工工艺大盘点
2021/08/05
据博研小编的了解，在以硅为基础的 MEMS加工 工艺中 ,主要的加工工艺有腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散、溅射等。 ①、腐蚀 腐蚀是MEMS 加工的最主要的技术 ,各种硅微机械几乎都要用腐...
国内mems微纳加工技术发展面临哪些困境
2021/08/05
博研小编认为尽管 mems微纳加工 技术未来前景一片光明，但如果只看眼前，国内市场现状并不如尽如人意，国产MEMS的坎一个比一个难。 困境一：研发时间长，难以投产 mems微纳加工技术...
传统集成电路代工和mems代工模式的差异
2021/07/14
在人工智能的崛起威胁到流程驱动型工作岗位的同时，菲律宾呼叫中心行业希望今年能创造出多达7万个工作岗位和10亿美元的额外收入。 菲律宾联络中心协会（CCAP）主席路易斯·本尼迪...
光刻加工基础
2021/07/16
MEMS代工中光刻工艺的重要性，光刻加工的重要性可以通过两种方式来理解。首先，由于集成电路制造中需要大量的光刻步骤，光刻加工通常占制造成本的30％左右。其次，光刻加工趋向...
MEMS代工的灵活性的表现有哪些？
2021/07/16
随着科学技术和人类需求的发展，MEMS代工和MEMS技术的应用变得更加多样化。传感器和执行器已广泛应用于各个领域，并已集成到许多应用中，例如汽车工业，生物医学治疗，消费电子，...
光刻加工的其他技术
2021/07/16
在光刻加工中，扫描探针光刻(SPL) 是另一组使用扫描探针在纳米级图案化到单个原子的技术，通过蚀刻掉不需要的材料，或直接将新材料写入基板上。该类别中的一些重要技术包括蘸笔...
电子束光刻加工应用和参数
2021/07/16
电子束光刻加工图案中的数字线宽与处理后的实际显影特征尺寸之间几乎总是存在差异。这是由抗蚀剂中的电子散射引起的。对于良好表征的过程，数字大小和实际大小之间通常存在固...
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