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微纳加工
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2026/03/06
为什么MEMS器件偏爱SOI片？浅谈SOI在键合与掺杂中的优势
在MEMS的世界里，小巧而强大是核心追求从手机里的加速度传感器，到医疗领域的微型超声换能器，再到航天设备中的惯性导航器件，这些毫米甚至微米级的器件，对基底材料的要求近乎...
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2026/02/28
微纳加工核心揭秘：光刻工艺，方寸之间的“雕刻魔法”
很多人对光刻工艺的认知局限于“曝光显影”，实则它是集光学、化学、材料学于一体的精密过程。其核心任务，是利用曝光和显影技术在光刻胶层刻画预设图形，再通过刻蚀工艺将光...
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2026/02/10
刻蚀工艺的关键挑战：选择比、均匀性与损伤控制
刻蚀作为半导体制造中图形转移的核心工序，如同精细的微观雕刻，需将光刻定义的图案精准复刻至衬底材料，其工艺精度直接决定器件性能与良率。随着摩尔定律持续推进，器件线宽...
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微纳加工丨微纳压印中压电平台的应用
2022/02/17
在过去几十年的发展中， 微纳加工 技术促进了集成电路的迅速发展，实现了器件的高集成度，微纳加工技术是人类认识学习微观世界的工具，通过理解这一技术可以帮助我们更好认识微...
博研教大家怎么进行MEMS器件设计
2022/02/10
目前，MEMS是一种常见的设备，许多工厂专注于MEMS的生产。通常，高质量MEMS产品的生产往往与优秀的 MEMS器件设计 密不可分。 鉴于MEMS工艺来自光刻微电子工艺，人们自然会考虑使用IC设...
关于表面硅MEMS加工技术的简单介绍
2022/02/10
表面硅 MEMS加工 技术是在集成电路平面技术的基础上开发的一种MEMS技术，利用硅平面上不同材料的顺序积累和选择腐蚀形成各种微结构。博研微纳小编总结了一些关于此技术的疑问，并...
博研微纳为你讲讲微纳加工技术在光电子领域有哪些应用
2022/02/10
在过去的50年里， 微纳加工 技术的进步极大地促进了微电子技术和光电子技术的发展。微电子技术的发展以超大型集成电路为代表，集成度每18个月翻一番，使得以90nm为最小电路尺寸的...
光刻板怎么样
2022/01/20
博研微纳小编来为大家介绍一下 光刻板 到底怎么样。 1.光刻板由什么组成 光刻板主要分两个组成部分，即基板和不透光材料，不同光刻板的不透光材料有所不同。基板通常是高纯度，...
半导体材料跟新能源能碰撞出火花吗
2022/01/20
据博研微纳小编了解，发展至今， 半导体材料 已历经多次迭代。 第一代半导体材料主要是硅和锗。20世纪60年代以后，硅基半导体逐渐成为主流，至今仍是应用最广泛的半导体材料。世...
如何进行MEMS器件设计
2022/01/20
博研微纳小编认为通常高质量MEMS产品的产生，往往离不开优秀的 MEMS器件设计 。 鉴于MEMS技术来自光刻微电子技术，人们自然会考虑使用IC设计工具来创建MEMS设备的掩护。然而，IC设计与...
我国的光刻板水平怎么样
2022/01/11
据博研小编的统计，随着中国半导体产业在世界上所占比例的逐步提高，中国半导体 光刻板 市场的规模也在逐步扩大。5G、人工智能、物联网等新技术的快速发展也为中国半导体市场带...
大盘点丨半导体材料有哪些元素
2022/01/11
博研微纳小编稍微普及一下， 半导体材料 是指在室温下导电性能介于导体和绝缘体之间的材料。半导体广泛应用于收音机、电视机和温度测量。例如，二极管是由半导体制成的设备。半...
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