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微纳加工
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2025/04/25
离子注入：MEMS微纳加工中的精密掺杂技术
引言：离子注入在MEMS制造中的关键作用 在MEMS晶圆代工和半导体制造中，离子注入技术是实现精密掺杂的核心工艺之一。通过高能离子束对半导体材料进行选择性掺杂，可以精准控制材...
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2025/04/23
半导体材料与微纳加工：推动现代电子技术革新的核心动力
在当今信息技术飞速发展的时代，半导体材料与微纳加工技术已成为推动电子产业进步的两大支柱。从智能手机到物联网设备，从医疗检测到航空航天，这些技术的应用无处不在。本文...
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2025/04/17
聚焦离子束刻蚀技术在微纳加工中的应用与进展
微纳加工技术是当今先进制造领域的核心技术之一，广泛应用于半导体微纳加工、MEMS（微机电系统）加工、光学器件及纳米材料制备等领域。其中，聚焦离子束（Focused Ion Beam, FIB）刻蚀...
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MEMS加工是种怎样的技术工艺
2022/03/07
让博研小编先解释一下什么是MEMS。MEMS的全称是Microelectromechanicalsystems，这个词让老美读起来绕口而行，中文称之为微机械机电系统。 MEMS加工 技术的快速发展是由于传统机电工艺制成的...
微纳加工技术概念
2022/03/07
博研微纳小编认为国防战略发展的需要和纳米精密产品高利润市场的吸引力，促进了 微纳加工 技术的快速发展。微加工技术的发展也促进了机械、电子、半导体、光学、传感器和测量技...
几种主流MEMS器件设计原理解析
2022/02/28
据博研微纳小编了解，常见的 MEMS器件设计 产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等...
【科普】MEMS加工芯片有哪些步骤？
2022/02/28
MEMS加工 芯片的工艺以成膜工序、光刻工序、蚀刻工序等常规半导体工艺流程为基础。 下面博研微纳小编将介绍MEMS加工工艺的部分关键技术。 1.晶圆-SOI晶圆。 SOI是指在氧化膜上形成单...
微纳加工系统是什么
2022/02/28
微纳加工技术是指由这些元件组成的亚毫米、微米和纳米量级元件以及部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成和应用技术，涉及广泛的领域和多学科的交叉整合。其主要发展方...
MEMS器件设计工艺如何进一步优化
2022/02/17
博研小编认为在通过设备改进提高晶圆相关性能的同时，晶圆厂还必须优化其工艺流程，以提高可靠性、产量和产量。新流程的开发可能需要多个构建和测试周期，因此时间和金钱成本...
MEMS加工升级面临哪些问题
2022/02/17
长期以来，计算机、手机和一些汽车应用程序一直是推动半导体设备增长的动力。这些传统市场的发展也加速了人工智能（人工智能）、虚拟现实（虚拟现实）、增强现实（AR）、机器人...
微纳加工丨微纳压印中压电平台的应用
2022/02/17
在过去几十年的发展中， 微纳加工 技术促进了集成电路的迅速发展，实现了器件的高集成度，微纳加工技术是人类认识学习微观世界的工具，通过理解这一技术可以帮助我们更好认识微...
博研教大家怎么进行MEMS器件设计
2022/02/10
目前，MEMS是一种常见的设备，许多工厂专注于MEMS的生产。通常，高质量MEMS产品的生产往往与优秀的 MEMS器件设计 密不可分。 鉴于MEMS工艺来自光刻微电子工艺，人们自然会考虑使用IC设...
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