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微纳加工
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公司新闻
2026/09/03
从基底到成品：MEMS芯片微纳加工全工艺链路解析
相较于传统集成电路仅聚焦电路制备，MEMS制造核心是在晶圆基底上加工三维微型机械结构，融合半导体工艺与精密机械微加工技术。其完整制程可归纳为四大核心阶段，形成标准化工艺...
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2026/08/27
AI赋能半导体微纳加工工艺 开启精准制造新范式
半导体微纳加工是先进芯片制造的核心基石，涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、精密检测等关键工序，其加工精度已迈入纳米甚至亚纳米级别。随着芯片制程持续迭代，传统微纳加工工艺面...
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2026/08/20
权衡与优化：刻蚀工艺中选择比、各向异性与均匀性的平衡策略
刻蚀是微纳制造与半导体加工的核心工艺，其加工精度直接决定器件的良率、性能与稳定性。在刻蚀工艺调控体系中，选择比、各向异性、均匀性是三大核心质控指标，三者相互制约、...
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第三代半导体材料可以用在哪些地方
2022/04/13
据博研了解，第三代 半导体材料 目前主要可以应用于光电、电力电子、以及微波射频三大领域，其中光电领域是到目前为止应用最成熟的领域，不仅有着高达数千亿美元的规模，更是一...
光刻板与光刻工艺有什么关联
2022/03/28
光刻刻蚀工艺是和照相、蜡纸印刷比较接近的一种多步骤的图形转以过程。开始将电路设计转化成器件和电路的各个部分的三个维度。接下来绘出X-Y的尺寸、形状和表面对准的复合图。...
第三代半导体材料的典型代表有哪些
2022/03/28
进入21世纪以来，随着摩尔定律的失效大限日益临近，寻找 半导体材料 替代品的任务变得非常紧迫。在多位选手轮番登场后，有两位脱颖而出，它们就是氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)并称为第...
光刻板的技术含量高不高
2022/03/23
博研给大家强调一下， 光刻板 是整个芯片的机密所在，没有光刻板，光刻机是无法准确加工芯片的。拿走光刻板，就可以复制任何公司的芯片，就像拿走印钱的电板可以制造逼真的假钱...
第三代半导体材料的优势及应用有哪些
2022/03/23
博研发现随着化合物半导体制造产业的不断发展，到目前为止，第一代、第二代半导体材料工艺已经逐渐达到物理天花板，想要突破目前技术瓶颈，只能从第三代半导体材料入手，而且...
MEMS器件该怎么设计
2022/03/15
MEMS器件设计 的重要性是不言而喻的。良好的MEMS设计可以给消费者带来便利，使企业在许多企业中脱颖而出，使销售市场活跃。之间的正式密切关系可以突出MEMS设计的重要性。那么，在...
LIGA是什么样的MEMS加工技术
2022/03/15
据博研小编了解，LIGA加工是德语光刻、电镀(也称电铸)和压模(Abformung)的简称。LIGA技术可以加工金属、塑料等非硅材料，也可以加工深宽比大的零件，这是体微加工和表面微加工难以实...
MEMS器件设计工艺如何进一步优化
2022/02/17
博研小编认为在通过设备改进提高晶圆相关性能的同时，晶圆厂还必须优化其工艺流程，以提高可靠性、产量和产量。新流程的开发可能需要多个构建和测试周期，因此时间和金钱成本...
MEMS加工升级面临哪些问题
2022/02/17
长期以来，计算机、手机和一些汽车应用程序一直是推动半导体设备增长的动力。这些传统市场的发展也加速了人工智能（人工智能）、虚拟现实（虚拟现实）、增强现实（AR）、机器人...
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