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微纳加工
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公司新闻
2026/07/17
面向多材质加工的MEMS代工RIE刻蚀工艺参数优化方案
随着MEMS器件向集成化、多功能化方向发展，多材质复合结构加工已成为代工生产的主流需求。反应离子刻蚀（RIE）作为MEMS制造的核心干法刻蚀工艺，凭借各向异性强、刻蚀精度高、工艺...
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2026/07/09
低成本高效率，湿法腐蚀在MEMS代工中的实用价值
在MEMS代工行业规模化、低成本化的发展趋势下，工艺技术的选型直接决定了代工产能、生产成本与交付效率。湿法腐蚀作为微纳加工的核心基础工艺，凭借设备简易、成本低廉、可批量...
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2026/07/01
从流片到成品，MEMS全制程代工服务深度解析
相较于传统集成电路制程，MEMS器件制造兼顾微电子工艺与精密机械结构加工，制程复杂度更高、工艺定制性更强。全制程代工服务覆盖从流片设计适配、晶圆制造、后段加工到成品测试...
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全球MEMS加工技术有哪几种
2021/08/11
据博研小编了解，目前世界上 MEMS加工 技术主要分为三种，分别以美国为代表的硅基MEMS技术、日本以精密加工为特征的MEMS技术和德国的LIGA技术。 第一种是以美国为代表的硅基MEMS加工技...
主要的MEMS加工工艺大盘点
2021/08/05
据博研小编的了解，在以硅为基础的 MEMS加工 工艺中 ,主要的加工工艺有腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散、溅射等。 ①、腐蚀 腐蚀是MEMS 加工的最主要的技术 ,各种硅微机械几乎都要用腐...
国内mems微纳加工技术发展面临哪些困境
2021/08/05
博研小编认为尽管 mems微纳加工 技术未来前景一片光明，但如果只看眼前，国内市场现状并不如尽如人意，国产MEMS的坎一个比一个难。 困境一：研发时间长，难以投产 mems微纳加工技术...
传统集成电路代工和mems代工模式的差异
2021/07/14
在人工智能的崛起威胁到流程驱动型工作岗位的同时，菲律宾呼叫中心行业希望今年能创造出多达7万个工作岗位和10亿美元的额外收入。 菲律宾联络中心协会（CCAP）主席路易斯·本尼迪...
光刻加工基础
2021/07/16
MEMS代工中光刻工艺的重要性，光刻加工的重要性可以通过两种方式来理解。首先，由于集成电路制造中需要大量的光刻步骤，光刻加工通常占制造成本的30％左右。其次，光刻加工趋向...
MEMS代工的灵活性的表现有哪些？
2021/07/16
随着科学技术和人类需求的发展，MEMS代工和MEMS技术的应用变得更加多样化。传感器和执行器已广泛应用于各个领域，并已集成到许多应用中，例如汽车工业，生物医学治疗，消费电子，...
光刻加工的其他技术
2021/07/16
在光刻加工中，扫描探针光刻(SPL) 是另一组使用扫描探针在纳米级图案化到单个原子的技术，通过蚀刻掉不需要的材料，或直接将新材料写入基板上。该类别中的一些重要技术包括蘸笔...
光刻加工的好处
2021/07/16
特征尺寸 在光刻加工中这通常称为最小特征尺寸或临界尺寸 (CD)，它是设计的最小部分。可实现的 CD 取决于您使用的光刻类型和您正在图案化的表面的拓扑结构。 对齐 对齐是指两层相...
MEMS加工发展及展望
2021/07/16
自20世纪90年代以来，微流控芯片技术的出现极大促进了微型化操作和分析方法的研究进展。尽管微流控技术只经历了短短30年的发展，其已经从最初单纯的毛细管电泳的微型化技术，演...
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