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微纳加工
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公司新闻
2026/03/06
为什么MEMS器件偏爱SOI片？浅谈SOI在键合与掺杂中的优势
在MEMS的世界里，小巧而强大是核心追求从手机里的加速度传感器，到医疗领域的微型超声换能器，再到航天设备中的惯性导航器件，这些毫米甚至微米级的器件，对基底材料的要求近乎...
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2026/02/28
微纳加工核心揭秘：光刻工艺，方寸之间的“雕刻魔法”
很多人对光刻工艺的认知局限于“曝光显影”，实则它是集光学、化学、材料学于一体的精密过程。其核心任务，是利用曝光和显影技术在光刻胶层刻画预设图形，再通过刻蚀工艺将光...
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2026/02/10
刻蚀工艺的关键挑战：选择比、均匀性与损伤控制
刻蚀作为半导体制造中图形转移的核心工序，如同精细的微观雕刻，需将光刻定义的图案精准复刻至衬底材料，其工艺精度直接决定器件性能与良率。随着摩尔定律持续推进，器件线宽...
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MEMS加工过程中会用到哪些技术
2021/10/27
博研小编认为 MEMS加工 技术是20世纪80年代末90年代初才逐步发展起来的前沿、交叉性新兴学科领域。它的迅猛发展将在21世纪促使几乎所有工业领域产生一场革命性的变化。MEMS产品的广...
MEMS器件设计的关键是什么
2021/10/27
据博研小编了解， MEMS器件设计 一般包括微结构设计、处理电路设计、封装设计等。国外在微结构设计、数模电路设计上取得不错的成就，微结构与电子线路整合的一体化设计或整体布...
MEMS器件设计与制造关键靠哪些技术
2021/10/20
MEMS器件中，设计技术极为重要性，坚固耐用的惯性MEMS器件，除集成技术外设计成为另一个核心，博研小编通过对设计技术进行探讨研究，希望提高MEMS器件的可靠性。于是 MEMS器件设计...
MEMS加工主要有哪些技术工艺
2021/10/20
MEMS产业增长潜力巨大，而 MEMS加工 不仅是产业持续发展的瓶颈，还是将潜力兑现成现实的关键路径。 但漫长的开发周期、繁多的制造平台、研发期间的用量少带来的报价高是阻碍MEMS新...
MEMS器件如何设计
2021/10/13
博研小编提醒大家，由于亚毫米器件的直观性不强，模型对于 MEMS器件设计 来说尤为重要。一般来说，一个完整的微机电系统太过复杂，难以从整体上进行模型分析，因此，通常需要将...
表面硅MEMS加工采用什么工艺？
2021/10/11
表面硅 MEMS加工 技术是在集成电路平面工艺基础上发展起来的一种MEMS工艺技术，它利用硅平面上不同材料的顺序淀积和选择腐蚀来形成各种微结构。 据博研小编了解，表面硅MEMS加工技...
MEMS加工的研究现状如何
2021/10/08
据博研小编的了解，自1989年制造出直径只有头发丝大小的微马达以来，MEMS加工技术就开始受到世界各国的高度重视。1993年美国ADI公司采用 MEMS加工 技术成功地将微型加速度计商品化，...
MEMS器件设计需要哪些技术及方法
2021/10/08
博研小编要先提醒大家，加强对 MEMS器件设计 关键技术的研究具有很大的现实意义，发现当前技术中存在的不足，提出针对性的指导建议，在保证传感器性能满足要求的同时，降低生产...
MEMS加工采用什么技术
2021/09/22
要想知道 MEMS加工 采用的是什么技术，那么就需要先知道MEMS是什么，博研小编先为大家科普一下。 MEMS中文叫微机电系统，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米...
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