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2026/09/03
从基底到成品:MEMS芯片微纳加工全工艺链路解析
相较于传统集成电路仅聚焦电路制备,MEMS制造核心是在晶圆基底上加工三维微型机械结构,融合半导体工艺与精密机械微加工技术。其完整制程可归纳为四大核心阶段,形成标准化工艺...
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2026/08/27
AI赋能半导体微纳加工工艺 开启精准制造新范式
半导体微纳加工是先进芯片制造的核心基石,涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、精密检测等关键工序,其加工精度已迈入纳米甚至亚纳米级别。随着芯片制程持续迭代,传统微纳加工工艺面...
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2026/08/20
权衡与优化:刻蚀工艺中选择比、各向异性与均匀性的平衡策略
刻蚀是微纳制造与半导体加工的核心工艺,其加工精度直接决定器件的良率、性能与稳定性。在刻蚀工艺调控体系中,选择比、各向异性、均匀性是三大核心质控指标,三者相互制约、...
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博研教大家怎么进行MEMS器件设计
2022/02/10
目前,MEMS是一种常见的设备,许多工厂专注于MEMS的生产。通常,高质量MEMS产品的生产往往与优秀的 MEMS器件设计 密不可分。 鉴于MEMS工艺来自光刻微电子工艺,人们自然会考虑使用IC设...
关于表面硅MEMS加工技术的简单介绍
2022/02/10
表面硅 MEMS加工 技术是在集成电路平面技术的基础上开发的一种MEMS技术,利用硅平面上不同材料的顺序积累和选择腐蚀形成各种微结构。博研微纳小编总结了一些关于此技术的疑问,并...
光刻板怎么样
2022/01/20
博研微纳小编来为大家介绍一下 光刻板 到底怎么样。 1.光刻板由什么组成 光刻板主要分两个组成部分,即基板和不透光材料,不同光刻板的不透光材料有所不同。基板通常是高纯度,...
半导体材料跟新能源能碰撞出火花吗
2022/01/20
据博研微纳小编了解,发展至今, 半导体材料 已历经多次迭代。 第一代半导体材料主要是硅和锗。20世纪60年代以后,硅基半导体逐渐成为主流,至今仍是应用最广泛的半导体材料。世...
如何进行MEMS器件设计
2022/01/20
博研微纳小编认为通常高质量MEMS产品的产生,往往离不开优秀的 MEMS器件设计 。 鉴于MEMS技术来自光刻微电子技术,人们自然会考虑使用IC设计工具来创建MEMS设备的掩护。然而,IC设计与...
我国的光刻板水平怎么样
2022/01/11
据博研小编的统计,随着中国半导体产业在世界上所占比例的逐步提高,中国半导体 光刻板 市场的规模也在逐步扩大。5G、人工智能、物联网等新技术的快速发展也为中国半导体市场带...
大盘点丨半导体材料有哪些元素
2022/01/11
博研微纳小编稍微普及一下, 半导体材料 是指在室温下导电性能介于导体和绝缘体之间的材料。半导体广泛应用于收音机、电视机和温度测量。例如,二极管是由半导体制成的设备。半...
氮化镓是一种什么半导体材料?
2022/01/06
据博研小编了解,氮化镓(GaN) 材料是1928 年由Jonason 等人合成的一种Ⅲ-Ⅴ族化合物 半导体材料 。 氮化镓是氮和镓的化合物,此化合物结构类似纤锌矿,硬度很高。作为时下新兴的半...
MEMS器件设计有哪些要点
2022/01/06
博研微纳小编认为好的 MEMS器件设计 是经验加技术的结晶。一般理解MEMS器件是将一种物理量经过电路转换成一种能以另外一种直观的可表达的物理量的描述。 MEMS器件能感受到被测量的...
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